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期刊论文 4

年份

2023 1

2021 1

2020 1

2008 1

关键词

(GaxIn1−x)2O3薄膜;带隙可调谐;磁控溅射 1

双层辉光离子渗金属技术 1

扩散 1

空心阴极效应 1

阴极溅射 1

非晶Sm-Co膜,面内单轴各向异性,磁控溅射 1

高熔点金属 1

高纯金属;溅射靶材;集成电路;薄膜;金属化 1

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集成电路用高纯金属溅射靶材发展研究

何金江 ,吕保国 ,贾倩,丁照崇 ,刘书芹 ,罗俊锋 ,王兴权

《中国工程科学》 2023年 第25卷 第1期   页码 79-87 doi: 10.15302/J-SSCAE-2023.01.003

摘要: 本文分析了集成电路用高纯金属溅射靶材的应用需求,梳理了相应高纯金属溅射靶材的研制现状,涵盖 高纯铝及铝合金、高纯铜及铜合金、高纯钛、高纯钽、高纯钴和镍铂、高纯钨及钨合金等细分类别。在此背景下,本文针对集成电路用高纯金属溅射靶材,分析需求、梳理现状、剖析问题,进而明确重点方向、提出保障建议,以为高纯金属溅射靶材的科技进步、行业升级以及相应材料基础研究提供参考。因此,从微观品质、宏观规格来看,高纯金属溅射靶材面临着越来越高的技术要求。合理加大高纯金属溅射靶材技术研发及产业升级的支持力度,力争在2030年前后使我国成为世界高纯金属溅射靶材的主要供应国之一。开展集成电路用高纯金属溅射靶材上下游系列产品、检测方法的标准化建设,完善评价体系,保障高纯金属溅射靶材产业发展质量。

关键词: 高纯金属;溅射靶材;集成电路;薄膜;金属化    

磁控溅射法生长的带隙可调谐(GaxIn1−x)2O3 Research Articles

张法碧1,孙巾寓1,李海鸥1,周娟1,王荣1,孙堂友1,傅涛1,肖功利1,李琦1,刘兴鹏1,张秀云1,郭道友2,王相虎3,秦祖军1

《信息与电子工程前沿(英文)》 2021年 第22卷 第10期   页码 1370-1378 doi: 10.1631/FITEE.2000330

摘要: 采用磁控溅射技术和热退火技术在(0001)蓝宝石衬底上制备了多组分氧化物(GaxIn1−x)2O3薄膜,实现可调带隙。

关键词: (GaxIn1−x)2O3薄膜;带隙可调谐;磁控溅射    

双层辉光离子渗金属技术特点

高原,徐晋勇,高清,安晋平,徐重

《中国工程科学》 2008年 第10卷 第2期   页码 26-30

摘要:

分析了双层辉光技术的特点,指出该技术在材料表面合金化方面,是一项适合于高熔点金属 表面合金化和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金属材料进行表面合金化的工艺技术.

关键词: 双层辉光离子渗金属技术     高熔点金属     空心阴极效应     阴极溅射     扩散    

(011)取向单晶衬底上生长的非晶Sm-Co薄膜的面内各向异性调控 Article

梁文会, 周厚博, 熊杰夫, 胡凤霞, 李佳, 张健, 王晶, 孙继荣, 沈保根

《工程(英文)》 2020年 第6卷 第2期   页码 158-163 doi: 10.1016/j.eng.2019.11.010

摘要:

具有单轴面内各向异性的非晶Sm-Co薄膜在信息存储和自旋电子学领域中都具有广阔的应用前景。产生单轴面内各向异性的最有效方法是在薄膜沉积过程中施加面内磁场。然而,这种方法通常需要复杂的设备。本文中,我们报道了一种产生单轴面内各向异性的新方法,只需要将非晶Sm-Co薄膜生长在(011)取向的单晶衬底上,薄膜生长过程中不需要施加任何外部磁场。薄膜的各向异性常数kA随衬底晶格常数的变化而变化。生长在LaAlO3 (011)衬底上的非晶Sm-Co薄膜的各向异性常数kA高达3.3×104 J·m−3。详细分析表明,衬底各向异性应变引起的铁磁畴的择优生长,以及薄膜中Sm-Co、Co-Co取向对的有序化,在非晶Sm-Co薄膜单轴面内各向异性的产生上起到了重要作用。这项工作为在非晶Sm-Co薄膜中获得单轴面内各向异性提供了一种新方法。

关键词: 非晶Sm-Co膜,面内单轴各向异性,磁控溅射    

标题 作者 时间 类型 操作

集成电路用高纯金属溅射靶材发展研究

何金江 ,吕保国 ,贾倩,丁照崇 ,刘书芹 ,罗俊锋 ,王兴权

期刊论文

磁控溅射法生长的带隙可调谐(GaxIn1−x)2O3

张法碧1,孙巾寓1,李海鸥1,周娟1,王荣1,孙堂友1,傅涛1,肖功利1,李琦1,刘兴鹏1,张秀云1,郭道友2,王相虎3,秦祖军1

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双层辉光离子渗金属技术特点

高原,徐晋勇,高清,安晋平,徐重

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(011)取向单晶衬底上生长的非晶Sm-Co薄膜的面内各向异性调控

梁文会, 周厚博, 熊杰夫, 胡凤霞, 李佳, 张健, 王晶, 孙继荣, 沈保根

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